超純水項目
項目規(guī)模：超純水產(chǎn)水量50m3/h
建設(shè)時間：2022年8月開工建設(shè)，2023年4月完工
產(chǎn)水水質(zhì)：電子一級標(biāo)準(zhǔn)
工藝流程介紹：
超純水制備系統(tǒng)采用“脫鹽水+純水水箱+EDI給水泵(采用變頻)+UV殺菌器+0.45um膜濾器+一級膜脫氣裝置+EDI裝置+氮封水箱+超純水供水泵+TOC脫除器+二級膜脫氣裝置+-級拋光混床+二級拋光混床+0.45um膜濾器+0.05um終端膜濾器”的工藝流程。